​ CNC精密零配（pèi）件加工的特點

     超精密零配件加工方法（fǎ）的特點是對外（wài）表（biǎo）層物質去除或添加的量能夠作極細微（wēi）的控製。但是要獲得cnc超精（jīng）密零件（jiàn）加工精度，仍有賴於精密的加工設備和準確的克製（zhì）係統，並采用超（chāo）精密掩膜作中介物（wù）。例如超大規模集成（chéng）電路的製（zhì）版即使采用電子束對掩膜上的光致抗（kàng）蝕劑（見光刻）舉（jǔ）行曝射，使光致抗蝕劑（jì）的原子在電（diàn）子（zǐ）撞擊下（xià）直接聚合(或分解)，再用顯影（yǐng）劑把聚合過的（de）或未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子（zǐ）束曝射製版必要采用工作台定位精度（dù）高達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密（mì）車床上用（yòng）通過精細（xì）研磨的單晶金（jīn）剛石車刀舉行微量車削,切削厚度僅1微米左右，常用於加工（gōng）有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡（jìng）等高精度、外表高度光（guāng）潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球麵反（fǎn）射鏡，高精度（dù）可達（dá）0.1微米，外表粗糙（cāo）度為Rz0.05微米。

     超（chāo）精密（mì）零配件加工精度以納米（mǐ），甚至（zhì）後以原子單位(原子晶格距離為（wéi）0.1～0.2納米)為目標時，超精（jīng）密零件切削加工方法已不能適（shì）應，必要借助特種精密零配件加工的方法，即應用化學能、電化學能、熱能或電能等（děng），使這些能（néng）量超越原子間的聯合（hé）能，從而去除工件外表的（de）部分原子間的附著、聯合或晶格變形，以達到超精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化（huà）學拋光、離子濺射和離子注入（rù）、電子束（shù）曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和（hé）分子束外（wài）延等。